中國教育報-中國教育新聞網訊（記者 程墨 通訊員 尚紫荊）近日，華中科技大學機械學院劉世元教授團隊成功研發(fā)出國內首款完全自主可控、可用于芯片制造的OPC軟件，并實現(xiàn)成果轉化和產業(yè)化，填補了國內在此方面的空白。

據(jù)劉世元介紹，光刻是芯片制造中最為關鍵的一種工藝，通過光刻成像系統(tǒng)，將設計好的圖形轉移到硅片上。隨著芯片尺寸不斷縮小，硅片上的曝光圖形會產生畸變。在90nm甚至180nm以下芯片的光刻制造前，都必須采用一類名為OPC（光學臨近校正）的算法軟件進行優(yōu)化。沒有OPC，所有IC制造廠商將失去將芯片設計轉化為芯片產品的能力。目前，全球OPC工具軟件市場完全由Synopsys、Mentor、ASML—Brion等3家美國公司占領。

“從基礎研究到產業(yè)化應用，我們團隊整整走了十年。十年磨一劍，就是要解決芯片從設計到制造的卡脖子問題。下一步，我們將加快產品推廣步伐，加快進入國內外芯片制造廠商市場，力爭成為全球芯片產業(yè)鏈中重要的一環(huán)?！眲⑹涝f。

據(jù)悉，劉世元是華中科技大學集成電路測量裝備研究中心主任，同時也是光谷實驗室集成電路測量檢測技術創(chuàng)新中心主任。他早年師從華中理工大學前校長、著名機械學家楊叔子院士，于1998年獲工學博士學位。